【摘要】 本发明公开一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括一物料管制系统主机、一桥接器与一中央制造执行系统。该物料管制系统主机可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，并且该物料管制系统主机包括传送型态以及制造执行系统与自动物料处理系统映射。该桥接器连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送。该中央制造执行系统，其与该物料管制系统主机相互通讯且用以控制该物料管制系统主机。 【专利类型】发明授权 【申请人】台湾积体电路制造股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810091383.2 【申请日】2008-05-08 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101303596B 【公开公告日】2010-12-08 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101303596B 【授权公告日】2010-12-08 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G05B19/418; H01L21/677 【发明人】陈贤智; 游志源 【主权项内容】一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括：一物料管制系统主机，其可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，并且该物料管制系统主机包括传送型态以及制造执行系统与自动物料处理系统映射，其中该传送型态表示用以在该第一物料管制系统的第一位置与该第二物料管制系统的第二位置间传送晶片传送盒的有效路径以及该制造执行系统与自动物料处理系统映射用在路由规划与评估，其中该第一物料管制系统可与一第一供应商的一第一自动物料处理系统相互通讯，而该第二物料管制系统可与一第二供应商的一第二自动物料处理系统相互通讯；一桥接器，连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送；以及一中央制造执行系统，其与该物料管制系统主机相互通讯且用以控制该物料管制系统主机；其中，该物料管制系统主机包括一传输分派器，该传输分派器发送多个路由信号给该第一与第二物料管制系统，以控制该第一与第二自动物料处理系统以及该桥接器的跨厂晶片传送。 【当前权利人】台湾积体电路制造股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹市 【引证次数】3.0 【被引证次数】1 【他引次数】3.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】24.0 【家族被引证次数】33
