【摘要】 本发明提供一种薄膜移除设备及移除薄膜的方法，其中薄膜移除设备包 括：研磨头、超声波震荡装置以及微粒移除装置。超声波震荡装置用来驱动研 磨头，以去除位于基材上的薄膜。微粒移除装置用来移除由该薄膜所产生的多 个微粒。 【专利类型】发明申请 【申请人】东捷科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省台南县新市乡南科五路6号3楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810126900.5 【申请日】2008-07-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101623846A 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【发明人】庄峻铭; 简毓苍; 简永杰 【主权项内容】1、一种薄膜移除设备，其特征在于，包括： 一研磨头； 一超声波震荡装置，用来驱动该研磨头，以移除位于一基材上的一薄膜； 以及 一微粒移除装置，用来移除由该薄膜所产生的多个微粒。 【当前权利人】东捷科技股份有限公司 【当前专利权人地址】台湾省台南县新市乡南科五路6号3楼 【被引证次数】3 【家族被引证次数】3
