【摘要】 一种具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，主要包括一盒体，盒体内部 设有多个插槽以容置多个晶圆，盒体的一侧面形成一开口可供该多个晶圆 的输入及输出，以及一门体，是具有一外表面及一内表面，而门体以内表 面与盒体的开口相结合，并用以保护置放于盒体内部的多个晶圆，其中前 开式晶圆盒的特征在于：门体的内部配置至少一门闩结构且在门体的内表 面四周的边缘配置一可充气的气密件。 【专利类型】发明申请 【申请人】家登精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省台北县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810165755.1 【申请日】2008-09-23 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101685788A 【公开公告日】2010-03-31 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101685788B 【授权公告日】2012-05-09 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L21/673 【发明人】邱铭隆; 洪国钧 【主权项内容】1、一种具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，主要包括一盒体，该盒 体内部是设有多个插槽以容置多个晶圆，且在该盒体的一侧面是形成一开 口可供该多个晶圆的输入及输出，以及一门体，是具有一外表面及一内表 面，该门体是以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内 部的该多个晶圆，其中该前开式晶圆盒的特征在于： 该门体的该内表面与该外表面之间是配置至少一门闩结构且在该门 体的该内表面四周的边缘配置一可充气的气密件。 【当前权利人】家登精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾台北县 【引证次数】9.0 【被引证次数】4 【他引次数】9.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】12.0 【家族被引证次数】4
