【摘要】 本发明为一种测试装置及其移动机台,该移动机台具有基座、第一滑动组件、第二滑动组件和驱动装置。第一滑动组件连接基座上的第一滑轨,且沿着第一滑轨水平方向滑动。第二滑动组件连接第一滑动组件上的第二滑轨,且沿着第二滑轨垂直方向滑动。驱动装置固定在基座上。其中,驱动装置具有一推抵部,而第二滑动组件具有一转向部,推抵部线性抵接于转向部上。本发明能够将一驱动装置所产生的单一驱动方向,利用机构之间的作动关系,而产生二维方向上的移动。 【专利类型】发明授权 【申请人】友达光电股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810095354.3 【申请日】2008-05-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101266938B 【公开公告日】2010-10-06 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101266938B 【授权公告日】2010-10-06 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01L21/66; H01L21/677; G02F1/13; G01R31/26; G01R31/28 【发明人】范咏达; 罗日郎; 梁嘉杉 【主权项内容】一种移动机台,其特征在于该移动机台包含:一基座,其上设置有一第一滑轨;一第一滑动组件,配置于该第一滑轨上,且能沿该第一滑轨于该基座上滑动,其中该第一滑动组件包含一第二滑轨,且该第二滑轨与该第一滑轨间具有一夹角;一第二滑动组件,设置连接于该第二滑轨上,且能沿该第二滑轨于该第一滑动组件上移动,其中该第二滑动组件具有一转向部;一驱动装置,设置于该基座上并与该第一滑动组件接抵,且该驱动装置具有一推抵部,且该推抵部与该转向部线性抵接;该转向部包括一回转轴,该推抵部包括一斜面,而该斜面是接抵于该回转轴的外侧壁。 【当前权利人】友达光电股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹市 【引证次数】6.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】4