【摘要】 一种点测装置，包括一弯探针，一边缘传感器和一探针固着装置，其特征在于：所述边缘传感器具有一摆臂及一感应器，所述摆臂可相对于一支点作摆动而使所述感应器的接点跳脱或接触；所述探针固着装置将所述弯探针固定在所述摆臂上。本发明的点测装置具有使所述点测装置可以极度薄型化的优点。 【专利类型】发明申请 【申请人】旺矽科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹县竹北市中和街155号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810169742.1 【申请日】2008-10-16 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101726673A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101726673B 【授权公告日】2012-12-05 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G01R31/00; G01R31/26; G01M11/02; H01L21/66 【发明人】郭远明; 徐嘉彬; 吕世建 【主权项内容】一种点测装置，包括一弯探针，一边缘传感器和一探针固着装置，其特征在于：所述边缘传感器具有一摆臂及一感应器，所述摆臂可相对于一支点作摆动而使所述感应器的接点跳脱或接触；所述探针固着装置将所述弯探针固定在所述摆臂上。 【当前权利人】旺矽科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县竹北市中和街155号 【被引证次数】11 【被自引次数】6.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】11
