【摘要】 一种振动的光学量测方法及光学量测系统，对光源发出的光进行移频分光循两不同光路行进，其中经过移频的光作为参考光，未移频的光经过极化分光镜、1/4波板成圆偏极光再被待测物反射，并在接触待测物被反射的过程中因待测物的振动而成移频的物光，再令物光与参考光彼此发生干涉，最后由电荷耦合元件摄像机撷取影像后，即可以个人电脑对此进行处理与运算，从而快速、准确，且无须接触待测物地得到待测物振动的相关参数。 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人金属工业研究发展中心 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾雄市楠梓区高楠公路1001号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810186821.3 【申请日】2008-12-12 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101750142A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01H9/00 【发明人】侯博勋; 陈鹏仁; 陈嘉昌 【主权项内容】一种振动的光学量测方法，其特征在于：该振动的光学量测方法包含一光学量测系统架设步骤，设置一组光学量测系统，该光学量测系统包含一发出预定波域的光的光源、一供该光源发出且未被移频的光行进的第一光路径，一供该光源发出且被移频的光行进的第二光路径，及一位于该第二光路径终端的光接收处理装置的光学量测系统；一待测物设置步骤，将待测物置于该第一光路径终端；一照光步骤，使该光源发光并对发出的光分光移频，其中，未被移频的光沿该第一光路径行进，且被移频的光沿该第二光路径行进；一干涉发生步骤，让沿该第一光路径行进的光接触待测物并反射，且在接触待测物并反射的过程中被待测物的振动作用而移频，之后转进至该第二光路径行进而与原本在该第二光路径上行进的光彼此作用而产生一干涉光；及一接收处理步骤，令该光接收处理装置接收该干涉光，并自该干涉光配合该光源发出的光与对该光源移频时输入的资料，计算得到待测物振动的频率。 【当前权利人】财团法人金属工业研究发展中心 【当前专利权人地址】中国台湾雄市楠梓区高楠公路1001号 【引证次数】2.0 【被引证次数】8 【他引次数】2.0 【被他引次数】8.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】8
