【摘要】 一种蚀刻液浓度控制方法，其包括以下步骤：设定蚀刻液的目标浓度 值；抽取蚀刻液样本；用丙二醇稀释所述蚀刻液样本；测量所述蚀刻液样 本的浓度，得到所测量的浓度值；依据所述目标浓度值与所测量的浓度值 的差值，调整所述蚀刻液的浓度至所述目标浓度值。蚀刻液浓度分析过程 中不使用毒性物质，减少蚀刻液浓度控制过程对环境造成的负担。 【专利类型】发明申请 【申请人】浩硕科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省桃园县中坜市中坜工业区自强一路11号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810213433.X 【申请日】2008-09-02 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101667040A 【公开公告日】2010-03-10 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G05D11/02; G03F7/30; G05D11/00 【发明人】陈志行 【主权项内容】1.一种蚀刻液浓度控制方法，包括下列步骤： (a)设定蚀刻液的目标浓度值； (b)抽取蚀刻液样本； (c)用丙二醇稀释所述蚀刻液样本； (d)测量所述蚀刻液样本的浓度，得到所测量的浓度值； (e)依据所述目标浓度值与所测量的浓度值的差值，调整所述蚀刻液 的浓度至所述目标浓度值。 【当前权利人】浩硕科技股份有限公司 【当前专利权人地址】台湾省桃园县中坜市中坜工业区自强一路11号 【被引证次数】11 【被他引次数】11.0 【家族被引证次数】11
