【摘要】 一种取放晶粒的装置,包括一摆臂和一位移控制装置,其特征在于: 所述摆臂前端设有一吸头;所述位移控制装置连接所述摆臂的末端,以控 制所述摆臂的垂直移动,且所述位移控制装置在控制所述摆臂下降的过程 中,对所述摆臂提供一向上的力,以减轻所述晶粒遭受的力。本发明的取 放晶粒的装置具有避免吸头损伤晶粒,摆臂移动快速、精准和降低生产成 本的优点。 【专利类型】发明申请 【申请人】旺矽科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹县竹北市中和街155号1-3楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810142938.1 【申请日】2008-07-21 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101635267A 【公开公告日】2010-01-27 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101635267B 【授权公告日】2015-03-25 【授权公告年份】2015.0 【发明人】徐嘉彬; 洪嘉宏; 刘景男; 张志荣 【主权项内容】1.一种取放晶粒的装置,包括一摆臂和一位移控制装置,其特征在于: 所述摆臂前端设有一吸头; 所述位移控制装置连接所述摆臂的末端,以控制所述摆臂的垂直移 动,且所述位移控制装置在控制所述摆臂下降的过程中,对所述摆臂提供 一向上的力,以减轻所述晶粒遭受的力。 【当前权利人】旺矽科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县竹北市中和街155号1-3楼 【被引证次数】5 【家族被引证次数】5