【摘要】 本发明 是用于各种新型的离子注入机上的分子泵电源控制器，离子注入机属于半导体器件制造领域。现在半导体芯片的制程越来越小，半导体芯片生产线对离子注入机的真空要求越来越高，新型的离子注入机的高真空一部分用分子泵来抽取，国内的分子泵电源控制器对分子泵的转速控制处理不好，而国外的产品虽然性能较优良，但是价钱又很高，为国内多数生产厂家所不可接受。。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810224644.3 【申请日】2008-10-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101728204A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01J37/317; H01J37/32; H01L21/265 【发明人】金则军; 易文杰; 胡东京 【主权项内容】适用于各种新型的离子注入机上的分子泵电源控制，控制器价格比国外的便宜很多。 【当前权利人】北京中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762
