【摘要】 本发明提供了一种微机械锁存开关装置，由衬底、锚点、触头、挠性梁、检测质量块组成，其中，触头包括：顶触头、动触头和侧触头，所述侧触头分别位于所述动触头的两侧；挠性梁包括：顶触头挠性梁、动触头挠性梁、侧触头挠性梁以及检测挠性梁；所述触头及检测质量块与各自挠性梁固定连接；所述各挠性梁利用相应锚点固定于衬底上。本发明采用各触头相互独立的多触点接触方式，不仅减小了接触电阻、增大了许用电流，而且提高了触点接触的可靠性。本发明中，各触头均与检测质量块相互独立，锁存后不会受到检测质量块反弹、振动等的影响，提高了开关的抗振动能力和可靠性。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100871 北京市海淀区颐和园路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810225700.5 【申请日】2008-11-06 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101419868B 【公开公告日】2010-07-14 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101419868B 【授权公告日】2010-07-14 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01H1/00; H01H59/00; H01H35/14 【发明人】郭中洋; 杨振川; 赵前程; 林龙涛; 丁海涛; 闫桂珍 【主权项内容】一种微机械锁存开关装置，其特征在于，由衬底(101)、锚点、触头、挠性梁、检测质量块(105)组成，其中，所述触头包括：顶触头(102)、动触头(103)和侧触头(104)，所述侧触头(104)有两个，分别位于所述动触头(103)的两侧；所述挠性梁包括：顶触头挠性梁(112)、动触头挠性梁(113)、侧触头挠性梁(114)以及检测挠性梁(115)；所述触头(102、103、104)及检测质量块(105)与各自挠性梁(112、113、114、115)固定连接；所述挠性梁(112、113、114、115)利用相应锚点固定于衬底(101)上；当敏感方向上的外界触发原因大于或等于锁存阈值时，所述动触头(103)推动所述顶触头(102)移动的同时推动所述侧触头(104)向两侧打开并越过所述侧触头(104)，所述侧触头(104)在所述侧触头挠性梁(114)的作用下复位并阻止所述动触头(103)复位，从而实现锁存；当所述敏感方向上的外界触发原因减小至小于所述锁存阈值时，所述动触头(103)与所述顶触头(102)和侧触头(104)同时保持接触，所述检测质量块(105)与所述动触头(103)分离。 【当前权利人】北京大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区颐和园路5号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400002259P 【被引证次数】4 【被自引次数】4.0 【家族被引证次数】11
