【摘要】 本发明公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置，其用于多面取涂敷设备上，该多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器，其中，该自动测量装置包括：滑块，可滑动地设置在横梁上；可伸缩的机械臂，一端固定于滑块上；第二传感器，安装于上述可伸缩的机械臂的另一端，该第二传感器至少具有测量上述ND方向膜厚的第一姿态，以及驱动装置，驱动上述滑块在横梁上滑动，以带动该第二传感器在ND方向移动。本发明还公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量方法。本发明能解决目前多面取涂层ND方向膜厚不能自动测量的问题，从而减少了对玻璃基板的损伤，并减少了设备的制作成本、节约了工艺动作和时间、提高了生产效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】四川虹欧显示器件有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100085 北京市海淀区上地信息路11号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810247527.9 【申请日】2008-12-30 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101718541A 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101718541B 【授权公告日】2011-07-27 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01B21/08 【发明人】陈超; 郑彦标; 王鹏年 【主权项内容】一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置，所述自动测量装置用于多面取涂敷设备上，所述多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器，其特征在于，所述自动测量装置包括：滑块，可滑动地设置在所述横梁上；可伸缩的机械臂，一端固定于所述滑块上；第二传感器，安装于所述可伸缩的机械臂的另一端，所述第二传感器至少具有测量所述ND方向膜厚的第一姿态；以及驱动装置，驱动所述滑块在横梁上滑动。 【当前权利人】四川虹欧显示器件有限公司 【当前专利权人地址】北京市海淀区上地信息路11号 【专利权人类型】其他有限责任公司 【统一社会信用代码】91510700662756819Q 【被引证次数】7 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】7
