【摘要】 本发明公开了一种紫外图像传感器及其像素单元以及制备方法。紫外图像传感器包括 行扫描/驱动电路、列信号读出/驱动电路和像素阵列，每个像素单元包括信号放大器电路 和光探测元件。图像传感器的行扫描/驱动电路、列信号读出/驱动电路和像素单元的信号 放大器电路均采用硅CMOS技术制作，同步集成于同一衬底，且光探测元件位于信号放大 器电路之上，光探测元件与信号放大器电路之间由介质层隔离，两者通过上述介质层的通 孔实现电连接。本发明实现了单片集成，因此具有更高的性能和更低的成本，并显著提高 了紫外图像传感器的分辨率和灵敏度。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100871北京市海淀区颐和园路5号北京大学科研部 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810118875.6 【申请日】2008-08-26 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101661943A 【公开公告日】2010-03-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101661943B 【授权公告日】2011-01-26 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L27/146; H01L21/822 【发明人】张盛东; 王漪; 金玉丰 【主权项内容】1、一种紫外图像传感器，包括行扫描/驱动电路、列信号读出/驱动电路和像素阵列， 其特征在于，所述像素单元包括信号放大器电路和光探测元件，所述图像传感器的行扫描 /驱动电路、列信号读出/驱动电路和像素单元的信号放大器电路均采用硅CMOS技术制作， 同步集成于同一衬底，且光探测元件位于信号放大器电路之上，所述光探测元件与所述信 号放大器电路之间设有介质隔离层，两者通过上述介质隔离层的通孔实现电连接。。 【当前权利人】北京大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区颐和园路5号北京大学科研部 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400002259P 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】5
