【摘要】 本发明公开了一种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置 及方法。该方法是将标准器件与被测器件置于可精确控制温度的具有光窗 口的真空杜瓦内，光信号可以通过光窗口出入杜瓦，被测器件与标准器件 进行对比即可得到被测器件光电参数。该装置及方法可以测试光电器件在 一定高低温范围内的光电参数，采用了具有光窗口的真空杜瓦作为器件测 试环境，将器件置于真空杜瓦内真空腔的热沉上，热沉与冷源和热源相连 接，光电器件的输出信号线与腔外测试系统相连。利用本发明，降低了在 特殊高低温条件下对光电器件进行测试的复杂性，提高了测试的精确度， 解决了温度过低时光窗口结霜的问题。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院半导体研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100083北京市海淀区清华东路甲35号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810223611.7 【申请日】2008-09-27 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101685126A 【公开公告日】2010-03-31 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101685126B 【授权公告日】2012-08-22 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G01R31/00; G01M11/00 【发明人】杨晓红; 韩勤; 提刘旺 【主权项内容】1、一种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置，其特征在 于，该装置包括： 杜瓦(1)； 设置于该杜瓦正面的对测试波长透明的光窗口(2)； 设置于该杜瓦内部的用于承载被测器件的热沉(3)，热沉(3)上设 置有安装器件的插槽或插孔； 设置于该杜瓦内部的一冷源(5)和一热源(6)； 设置于该杜瓦底端的可打开和关闭的密封门(7)，用于器件的置入与 取出； 设置于该杜瓦顶端的一真空阀门(8)，打开后接通真空泵可将杜瓦(1) 内抽真空，达到一定真空后阀门可关闭； 设置于该杜瓦顶端的一真液氮阀门(9)，用于打开灌入液氮，同时控 制液氮气化的快慢程度； 被测器件的信号输入输出线(10)和温度控制线(11)，该信号输入 输出线(10)与温度控制线(11)分开，并且用同轴线屏蔽线引出；以及 温控仪(4)，具有精确的控温算法，温度控制线(11)和电加热器热 阻丝的电源线经一真空接头与杜瓦内部热沉相连接。 【当前权利人】中国科学院半导体研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华东路甲35号 【统一社会信用代码】12100000400012385U 【被引证次数】13 【被自引次数】4.0 【被他引次数】9.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】13
