【摘要】 本发明是一种在低温下为半导体样品施加连续可调单轴应力的方法。所述方法包括选取一压电陶瓷致动器，所述压电陶瓷致动器能够通过对改变压电陶瓷的偏压调节所施加的应力；将两个“U”形紫铜帽固定在所述压电陶瓷致动器两端，用于固定样品和导热；使用一紫铜导热丝连接在一所述紫铜帽上，用于实现均匀迅速导热；使用强力胶将半导体样品两端粘结在两个“U”形铜块上；改变压电陶瓷致动器上压电陶瓷的偏压，对所述半导体样品施加连续可调单轴应力。该方法中，单轴应力的大小连续双向可调，可测量，样品降温迅速准确，装置所占体积小，操作简便，可以与低温装置完美结合。。： 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院半导体研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100083 北京市海淀区清华东路甲35号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810102203.6 【申请日】2008-03-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101539505B 【公开公告日】2010-12-08 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101539505B 【授权公告日】2010-12-08 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N19/00; G01N3/00 【发明人】周振宇; 陈涌海 【主权项内容】一种在低温下为半导体样品施加连续可调单轴应力的方法，其特征在于，包括：1)选取一压电陶瓷致动器，所述压电陶瓷致动器能够通过对改变压电陶瓷的偏压调节所施加的应力；2)将两个“U”形紫铜帽固定在所述压电陶瓷致动器两端，用于固定样品和导热，将一个紫铜帽用螺丝固定在小型杜瓦瓶的传热金属探头上，将另一个紫铜帽通过紫铜导热丝与低温装置的传热探头相连；3)使用一紫铜导热丝连接在一所述紫铜帽上，用于实现均匀迅速导热；4)使用强力胶将半导体样品两端粘结在两个“U”形铜块上；5)改变压电陶瓷致动器上压电陶瓷的偏压，对所述半导体样品施加连续可调单轴应力。 【当前权利人】中国科学院半导体研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华东路甲35号 【统一社会信用代码】12100000400012385U 【引证次数】4.0 【被引证次数】2 【他引次数】4.0 【被自引次数】2.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】7
