【摘要】 本发明涉及一种难熔合金钨钛靶材及其制备方法，具体为一种高纯高富钨相含量的钨钛靶材及其热压制备方法，属于难熔合金靶材技术领域。该方法是以高纯W粉，Ti粉以及高纯Mo、Cr、Ta、Nb等添加金属粉为原料，采用高温高压的热压成型工艺制备高致密的钨钛合金靶材，靶材相对密度达到95～99％，富钨相的含量达到80～93％。相对于现有技术，本方法混料时添加部分高纯Nb、Mo、Cr、Ta等金属粉，能稳定合金中的富钨相，增加合金中富钨相的含量，提高了靶材的使用质量。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京有色金属研究总院 【申请人类型】企业 【申请人地址】100088 北京市海淀区新街口外大街2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810239844.6 【申请日】2008-12-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101748365A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101748365B 【授权公告日】2013-02-13 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】C23C14/14; C22C27/04; C22C1/04; B22F3/12 【发明人】储茂友; 王星明; 张碧田; 段华英; 邓仕斌; 韩沧; 潘德明; 陈洋 【主权项内容】一种高纯高富钨相钨钛合金靶材，其组成和含量为：80～90wt％钨、10wt％钛以及0～10wt％添加剂金属。 【当前权利人】有研资源环境技术研究院(北京)有限公司 【当前专利权人地址】北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号 【被引证次数】32 【被他引次数】32.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】34
