【摘要】 本发明涉及一种用于测试曲面间隙的柔顺式双层电涡流传感器的制备方法，属于传感器技术领域。首先在聚酰亚胺薄膜基底上开孔，在聚酰亚胺薄膜基底正反两个表面以及开孔上分别覆合铜箔，在正面铜箔进行光刻，以开孔为中心形成电涡流线圈，在每个电涡流线圈的一侧形成外引线，在反面铜箔进行光刻，在开孔之间形成内引线，得到上层电涡流传感器；重复上述过程，得到下层电涡流传感器；用密封胶使上述上、下层电涡流传感器相互粘结。本发明方法制备的电涡流传感器，由于电磁场的叠加效应，具有高的测试精度和分辨率。电涡流线圈及其基底材料具有良好的柔顺性，可以测试任意曲面形状之间的间隙，适合安装在狭小的空间中进行测量。 【专利类型】发明授权 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084 北京市海淀区清华园 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810227374.1 【申请日】2008-11-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101408404B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101408404B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01B7/14; G01N27/90 【发明人】丁天怀; 王鹏; 胡颖 【主权项内容】一种用于测试曲面间隙的柔顺式双层电涡流传感器的制备方法，包括以下步骤：(1)在聚酰亚胺薄膜基底上开孔，孔径为250-350μm；(2)在聚酰亚胺薄膜基底正反两个表面以及开孔上分别覆合铜箔，聚酰亚胺薄膜的厚度为100μm-200μm，铜箔的厚度为15μm-20μm；(3)在上述正面铜箔进行光刻，以上述开孔为中心形成电涡流线圈，在每个电涡流线圈的一侧形成外引线，在上述反面铜箔进行光刻，在上述开孔之间形成内引线，得到上层电涡流传感器；(4)重复步骤(1)、(2)和(3)，得到下层电涡流传感器；(5)用密封胶使上述上、下层电涡流传感器相互粘结，得到双层电涡流传感器，粘结时，上、下层电涡流传感器的内引线和开孔分别相对。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华园 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【家族被引证次数】13
