【摘要】 本发明公开了一种电子束复合等离子辉光放电的提纯系统，包括有真空单元、电 子束熔炼单元、水冷却单元、等离子辉光放电单元、连续送料单元(1B)；电子束熔 炼单元、等离子辉光放电单元构成电子束离子束复合提纯单元(1A)。在提纯过程中 设置熔料槽(6)和集料槽(9)，在熔料槽(6)的上方利用功率、焦距形状可控的 电子束熔化提纯物料，利用辉光放电产生的等离子体辅助提纯，使物料中的金属或非 金属杂质在等离子氛围中蒸发提纯。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京航空航天大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100083北京市海淀区学院路37号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810104168.1 【申请日】2008-04-16 【申请年份】2008 【公开公告号】CN100587088C 【公开公告日】2010-02-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN100587088C 【授权公告日】2010-02-03 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C22B9/04 【发明人】李合非 【主权项内容】1、一种电子束复合等离子辉光放电的提纯系统，包括有真空单元、电子束熔炼单元、 水冷却单元，其特征在于：还包括有等离子辉光放电单元、连续送料单元(1B)； 电子束熔炼单元、等离子辉光放电单元构成电子束离子束复合提纯单元(1A)； 所述真空单元包括有预真空室(15)和主真空室(12)； 所述电子束熔炼单元包括有高压电供给箱(1)、A电子枪(3A)、B电子枪(3B)、 C电子枪(3C)、D电子枪(3D)； 水冷却单元包括有熔料槽(6)的槽体上设有的水冷却通道、集料槽(9)的槽 体上设有的水冷却通道，以及为熔料槽(6)、集料槽(9)提供冷却水源的冷却水装 置； 所述等离子辉光放电单元包括有等离子发生器(27)、水冷式电极(28)； 连续送料单元(1B)的预真空室(15)的一端安装在电子束离子束复合提纯单 元(1A)的主真空室(12)的壳体上；电子束离子束复合提纯单元(1A)的主真空 室(12)的上方左侧通过A安装板(4A)固定有A电子枪(3A)、B电子枪(3B)， 且A电子枪(3A)、B电子枪(3B)分别通过电子枪引线与高压电供给箱(1)连接， 主真空室(12)的上方右侧通过B安装板(4B)固定有C电子枪(3C)、D电子枪 (3D)，且C电子枪(3C)、D电子枪(3D)分别通过电子枪引线与高压电供给箱 (1)连接；主真空室(12)的上方安装有等离子发生器(27)，与等离子发生器(27) 连接有水冷式电极(28)置于主真空室(12)内，且位于熔料槽(6)的上方；熔料 槽(6)的底部设有销孔(6C)，熔料槽(6)通过销轴(7)与销孔(6C)的配合连 接在熔料槽支架(8)的顶端，熔料槽支架(8)的底端安装在底部支架(11)上； 底部支架(11)上连接有A水冷底板(10A)、B水冷底板(10B)，A水冷底板(10A)、 B水冷底板(10B)上安装有集料槽(9)，集料槽(9)的底部与A水冷底板(10A)、 B水冷底板(10B)接合处分别设有A陶瓷绝缘垫(10C)、B陶瓷绝缘垫(10D)； 连续送料单元(1B)的物料进给壳体(16)内安装有A丝杠(23B)、B丝杠 (25B)、进料轴(22)；A丝杠(23B)的左端安装在A轴承(21A)内，A轴承 (21A)连接在物料进给壳体(16)的左端面上方，A丝杠(23B)的右端顺次通过 A螺纹孔(18A)、A齿轮(23A)的通孔后安装在C轴承(21C)内，C轴承(21C) 连接在物料进给壳体(16)的右端面上方；B丝杠(25B)的左端安装在B轴承(21B) 内，B轴承(21B)连接在物料进给壳体(16)的左端面下方，B丝杠(25B)的 右端顺次通过B螺纹孔(18B)、B齿轮(25A)的通孔后安装在D轴承(21D)内， D轴承(21D)连接在物料进给壳体(16)的右端面下方；进料轴(22)由套筒和 伸缩杆构成，套筒右端固连在双螺母(18)的C通孔(18C)上，伸缩杆的左端套 入套筒内，伸缩杆的右端连接在进料槽(14)上；进料轴(22)位于物料进给壳体 (16)的中心位置，进料轴(22)的套筒左端伸出中心孔(16A)后，通过联轴器 (20)与旋转电机(19)的输出轴实现连接，进料轴(22)的伸缩杆右端穿过双螺 母(18)的C通孔(18C)后安装在进料槽(14)上；前行电机(17)通过连接盘 (17A)安装在物料进给壳体(16)上，前行电机(17)的输出轴连接有主动齿轮 (24)，主动齿轮(24)与A齿轮(23A)、B齿轮(25A)啮合；物料进给壳体(16) 的右端面与预真空室(15)的左端面连接，预真空室(15)内放置有进料槽(14)， 预真空室(15)的上方设有端盖(26)，预真空室(15)的右端上设有闸板阀(13)。 【当前权利人】北京航空航天大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区学院路37号 【统一社会信用代码】12100000400011227Y 【引证次数】7.0 【他引次数】7.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】4
