【摘要】 。本发明公开了一种光纤激光加速度传感器，包括：作为光纤激光加速度传感器主体的支撑筒，该支撑筒一端开口，另一端的中心具有一第一小孔，用于固定光纤激光器；安装在所述支撑筒开口端的端盖，用于固定并保护光纤激光加速度传感器的内部结构，并引出光纤激光器的尾纤；固定在支撑筒开口端与端盖之间的弹性膜片结构，用于在加速度作用下产生变形；安装在弹性膜片结构中央的质量块，用于增加弹性膜片结构在加速度作用下产生的变形；贯穿所述弹性膜片结构和质量块的光纤激光器，用于测量加速度。本发明提高了光纤激光加速度传感器的测量灵敏度，减小了光纤激光加速度传感器的体积，改善了工艺的一致性。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院半导体研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100083 北京市海淀区清华东路甲35号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810224821.8 【申请日】2008-10-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101398440B 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101398440B 【授权公告日】2010-06-16 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01P15/03 【发明人】张文涛; 李芳; 刘育梁 【主权项内容】一种光纤激光加速度传感器，其特征在于，该光纤激光加速度传感器包括：作为光纤激光加速度传感器主体的支撑筒(10)，该支撑筒(10)一端开口，另一端的中心具有一第一小孔(11)，用于固定光纤激光器(20)；安装在所述支撑筒(10)开口端的端盖(30)，用于固定并保护光纤激光加速度传感器的内部结构，并引出光纤激光器(20)的尾纤；固定在支撑筒(10)开口端与端盖(30)之间的弹性膜片结构(50)，用于在加速度作用下产生变形；安装在弹性膜片结构(50)中央的质量块(40)，用于增加弹性膜片结构(50)在加速度作用下产生的变形；贯穿所述弹性膜片结构(50)和质量块(40)的光纤激光器(20)，用于测量加速度；其中，该光纤激光器(20)的一端固定在支撑筒(10)底部的第一小孔(11)处，另一端固定在质量块(40)上。 【当前权利人】中国科学院半导体研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华东路甲35号 【统一社会信用代码】12100000400012385U 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】18
