【摘要】 本发明涉及一种取送硅片的机械手，其特征在于：它包括一水平驱动机构，一垂直驱动机构、一旋转驱动机构和安装三个驱动机构的机架；水平驱动机构包括一水平驱动电机，水平驱动电机通过第一传动装置连接一沿两水平光杠水平移动的支架；垂直驱动机构包括一连接在支架上的垂直驱动电机，垂直驱动电机通过第二传动装置连接一沿两垂直光杠上下移动的升降架；旋转驱动机构包括一连接在升降架上的旋转驱动电机，旋转驱动电机通过第三传动装置连接一主臂，主臂顶部穿出支架顶部连接一手爪，手爪上表面设置有吸盘，在主臂的中心和手爪上设置有一连通吸盘的真空气道。本发明结构简单，体积小，成本低，可以广泛用于各种硅片的取送搬运过程中。 【专利类型】发明授权 【申请人】陈百捷; 北京自动化技术研究院 【申请人类型】个人,科研单位 【申请人地址】100176 北京市亦庄经济开发区大雄郁金香20号楼B-102 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】大兴区 【申请号】CN200810224701.8 【申请日】2008-10-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101383313B 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101383313B 【授权公告日】2010-06-16 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01L21/677; B65G47/91; B25J3/04; B25J15/06 【发明人】陈百捷; 徐伟新; 姚广军 【主权项内容】一种取送硅片的机械手，其特征在于：它包括一水平驱动机构，一垂直驱动机构、一旋转驱动机构和安装所述三个驱动机构的机架；所述水平驱动机构包括一水平驱动电机，水平驱动电机通过第一传动装置连接一沿两水平光杠水平移动的支架；所述垂直驱动机构包括一连接在所述支架上的垂直驱动电机，所述垂直驱动电机通过第二传动装置连接一沿两垂直光杠上下移动的升降架；所述旋转驱动机构包括一连接在所述升降架上的旋转驱动电机，所述旋转驱动电机通过第三传动装置连接一主臂，所述主臂顶部穿出所述支架顶部连接一手爪，所述手爪上表面设置有吸盘，所述主臂的中心和手爪上设置有一连通所述吸盘的真空气道。 【当前权利人】陈百捷; 北京自动化技术研究院 【当前专利权人地址】; 北京市西城区北京西城区鼓楼西大街41号 【引证次数】7.0 【被引证次数】4 【他引次数】7.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】27
