【摘要】 本发明公开了一种声表面波气体传感器，包括：一压电晶体衬底；制备于该压电晶体衬底表面的三组相互平行且间隔相等的第一叉指电极、第二叉指电极和第三叉指电极；以及在第一叉指电极与第二叉指电极，以及第二叉指电极与第三叉指电极之间的衬底表面分别蒸镀或涂敷的能够吸附被测气体的敏感膜。本发明同时公开了一种制作声表面波气体传感器的方法。利用本发明制备的声表面传感器，与不同的敏感膜搭配可以测量多种气体，具有灵敏度高，结构简单，方便制作，信号处理容易，能与半导体工艺兼容的优点。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院微电子研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100029 北京市朝阳区北土城西路3号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810224902.8 【申请日】2008-10-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101726538A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01N29/036 【发明人】李昊峰; 贾锐; 李维龙; 陈晨; 朱晨昕 【主权项内容】一种声表面波气体传感器，其特征在于，该声表面波气体传感器包括：一压电晶体衬底；制备于该压电晶体衬底表面的三组相互平行且间隔相等的第一叉指电极、第二叉指电极和第三叉指电极；以及在第一叉指电极与第二叉指电极，以及第二叉指电极与第三叉指电极之间的衬底表面分别蒸镀或涂敷的能够吸附被测气体的敏感膜。 【当前权利人】中国科学院微电子研究所 【当前专利权人地址】北京市朝阳区北土城西路3号 【统一社会信用代码】12100000400834434U 【被引证次数】16 【被自引次数】8.0 【被他引次数】8.0 【家族被引证次数】16
