【摘要】 本发明公开了一种彩色滤光片的制造方法及设备。方法包括：对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使所述蒸发舟中放置的光阻原料汽化；汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上，所述目标基板设置于所述蒸发舟上方设定距离处；将目标基板上汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形。本发明的技术方案中通过将形成在目标基板上的汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形，与现有技术中的彩色滤光片的制造方法相比，工艺简单，容易实现。 【专利类型】发明申请 【申请人】京东方科技集团股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥路10号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810241196.8 【申请日】2008-12-26 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101770050A 【公开公告日】2010-07-07 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G02B5/23; G03F7/16; G03F7/00; G02F1/1333 【发明人】何璇; 张卓; 杨久霞; 李琳; 赵吉生; 张海清 【主权项内容】一种彩色滤光片的制造方法，其特征在于，包括：对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使所述蒸发舟中放置的光阻原料汽化；汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上，所述目标基板设置于所述蒸发舟上方设定距离处；将目标基板上汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形。 【当前权利人】京东方科技集团股份有限公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥路10号 【专利权人类型】其他股份有限公司(上市) 【统一社会信用代码】911100001011016602 【被引证次数】7 【被自引次数】2.0 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】7
