【摘要】 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉温度场控制系统，设有上位机、 可编程控制器PLC、固态继电器组、热电偶组和加热器；所述加热器为电热 炉丝，螺旋缠绕，绝缘固定在炉内壁的内侧；所述固态继电器组，为5个固 态继电器，其一端分别与炉体外的5个炉丝引线连接，另一端与电源连接； 所述热电偶组为两组，一组为分布热电偶，另一组为楔形热电偶，每组为5 个，设置在炉体上；分布热电偶和楔形热电偶的输出端均与所述可编程控制 器PLC信号连接，PLC与上位机信号连接，PLC还与所述固态继电器组中每 个固态继电器控制连接。本实用新型适用于立式氧化炉的炉内温度控制，结 构完善，控制温度效果好，能保证加工质量。 【专利类型】实用新型 【申请人】北京七星华创电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200820234114.2 【申请日】2008-12-31 【申请年份】2008 【公开公告号】CN201382679Y 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN201382679Y 【授权公告日】2010-01-13 【授权公告年份】2010.0 【发明人】程朝阳; 徐冬; 张海伦; 米奇.阿伽穆罕默德 【主权项内容】1、一种300mm立式氧化炉温度场控制系统，其特征在于：设有上位机 (6)、可编程控制器PLC(7)、固态继电器组(2)、热电偶组(5、3)和加 热器(5.1)；所述加热器为电热炉丝，螺旋缠绕，绝缘固定在炉内壁的内侧； 所述固态继电器组，为5个固态继电器，其一端分别与炉体外的5个炉丝引 线(4)连接，另一端与电源连接；所述热电偶组为两组，一组为分布热电 偶(5)，另一组为楔形热电偶(3)，每组为5个，分别对应炉内5个温度区， 分两列纵向均匀间隔设置在炉体(1)上，分布热电偶靠近石英舟，楔形热 电偶靠近炉丝加热器；分布热电偶和楔形热电偶的输出端均与所述可编程控 制器PLC(7)信号连接，PLC与上位机(6)信号连接，PLC还与所述固态继 电器组中每个固态继电器控制连接。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】91110000726377528Y 【被引证次数】3 【被自引次数】1.0 【家族被引证次数】3
