【摘要】 本发明提供一种接线诊断及纠错方法，包括：步骤10，采集各路温控通道的温度。步骤20，根据各路温控通道的温度变化情况判断不同温控通道之间是否存在接线交叉的问题，如果是，则向存在接线交叉问题的温控通道发送交换控温数据的指令，并转到步骤30，如果否，则转到步骤10。步骤30，存在接线交叉问题的温控通道根据交换指令而交换相应的控温数据，以便温控通道基于交换后的控温数据完成温度控制。另外，本发明还提供一种接线诊断及纠错装置、应用上述方法的多路温控通道控制系统及应用上述装置的多路温控通道控制系统。本发明可对系统中存在的接线错误进行自动排查，无需停机和人工介入，从而可以节约人力成本、提高生产效率和产能。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810223588.1 【申请日】2008-10-08 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101713996A 【公开公告日】2010-05-26 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101713996B 【授权公告日】2012-04-11 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G05B23/02; G05D23/19 【发明人】武小娟 【主权项内容】一种用于多路温控通道控制系统的接线诊断及纠错方法，其特征在于包括下述步骤：10)采集各路温控通道的温度；20)根据各路温控通道的温度变化情况判断不同温控通道之间是否存在接线交叉的问题，如果是，则向存在接线交叉问题的温控通道发送交换控温数据的指令，并转到步骤30)；如果否，则转到步骤10)；30)根据所述交换指令交换存在接线交叉问题的温控通道相应的控温数据，以便所述温控通道基于交换后的控温数据完成温度控制。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】13 【被自引次数】2.0 【被他引次数】11.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】13
