【摘要】 本发明涉及一种L梁压阻式微型加速度计及其制作方法，包括支撑主框架体、弹性梁、质量块、盖板等，其特征在于所述的汤型梁呈L形，L形弹性梁的长臂与支撑主框架体的边框相连，质量块通过L形弹性梁支撑悬于支撑边框体的中间，L形弹性梁的短臂与质量块上表面的顶角相连；支撑主框架体的上、下两面粘合有盖板；L形梁的长臂的根部和顶端各设置有压敏电阻，每根L形梁上的两个阻值相等的压敏电阻组成惠斯顿电桥的单边应变的电桥。采用微电子机械加工技术作为关键制作技术。解决现有压阻式微加速度计不能同时满足灵敏度高、体积小、成本低、交叉干扰小、易于加工的问题。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院上海微系统与信息技术研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】200050 上海市长宁区长宁路865号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】长宁区 【申请号】CN200810037511.5 【申请日】2008-05-16 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101271124B 【公开公告日】2010-09-29 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101271124B 【授权公告日】2010-09-29 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01P15/12; B81B7/02; B81C1/00 【发明人】熊斌; 高廷金; 车录锋; 王跃林 【主权项内容】一种压阻式微加速度计，包括支撑主框架体、弹性梁、质量块、盖板以及压敏电阻，其特征在于所述的弹性梁呈L形，L形弹性梁的长臂与支撑主框架体的边框相连，质量块通过L形弹性梁支撑悬于支撑主框架体的中间，L形弹性梁的短臂与质量块上表面的顶角相连；支撑主框架体的上、下两面各粘合有盖板；L形弹性梁的长臂的根部和顶端各设置有压敏电阻，每根L形弹性梁上的两个阻值相等的压敏电阻组成惠斯通电桥的单边应变的电桥；其中，①所述的L形弹性梁至少为两根；②任意两根L形弹性梁上的四个阻值相等的压敏电阻组成惠斯通电桥。 【当前权利人】中国科学院上海微系统与信息技术研究所 【当前专利权人地址】上海市长宁区长宁路865号 【统一社会信用代码】12100000425006790C 【引证次数】4.0 【被引证次数】2 【他引次数】4.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】15
