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降低STI工艺中颗粒数的方法专利

发布时间:2026-06-06

【摘要】：本发明公开了一种降低STI工艺中颗粒数的方法，在原有工艺中的浅沟槽内侧生长衬垫氧化硅之后，淀积高密度等离子体化学气相氧化膜之前，增加一硅片背面刻蚀去除氮化硅和氧化硅的步骤。通过上述方法制备的STI隔离结构，能有效减小淀积HDP氧化膜的颗粒数。【专利类型】发明申请【申请人】上海华虹NEC电子有限公司【申请人类型】企业【申请人地址】201206 上海市浦东新区川桥路1188号【申请人地区】中国【申请人城市】上海市【申请人区县】浦东新区【申请号】CN200810043827.5 【申请日】2008-10-09 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101717924A 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】C23C16/513; C23C16/50 【发明人】孙玲玲【主权项内容】：一种降低STI工艺中颗粒数的方法，其特征在于：在原有的STI制备工艺中的浅沟槽内侧生长衬垫氧化硅之后，淀积高密度等离子体化学气相氧化膜之前，增加一硅片背面刻蚀去除氮化硅和氧化硅的步骤。【当前权利人】上海华虹NEC电子有限公司【当前专利权人地址】上海市浦东新区川桥路1188号【专利权人类型】有限责任公司(台港澳法人独资) 【统一社会信用代码】91310000607374607X

高纯金中微量杂质元素的微萃取测定方法
【摘要】本发明公开了一种高纯金中微量杂质元素的微萃取测定方法，包括微波消化、金基体微萃取分离、优化仪器工作参数、选择同位素和内标物、扣除同离子干扰、半定量扫描、标准溶液配制，然后用等离子质谱仪进行测定，计算结果。本发明采用了微型萃取装置萃取
大米包装袋
【摘要】1.后视图与主视图相同，省略后视图。 2.请求保护颜色。【专利类型】外观设计【申请人】张艳洁【申请人类型】个人【申请人地址】021008内蒙古自治区海拉尔市胜利三路保险楼2付241号【申请人地区】中国【申请人城市】呼伦贝尔市【申请人
一种治疗气管炎的中药
【摘要】一种治疗气管炎的中药是取石违60克、射干60克、双花60克、菖蒲40克、山甲20克、黄连20克、黄芩20克、大黄20克、甘草60克、麻黄80克、地丁20克、佛甲草60克、三白草20克、葫芦籽20克、菊花20克、翻白草30克、石部20
原油储罐取样探测器
【摘要】原油储罐取样探测器，应用于原油集输的储油大罐内部测量液面或取样。主要由透明管、支架、端塞和锁定控制机构组成，其特征在于：透明管固定在支架上。在透明管的两端有端塞，两端的端塞分别固定在端塞固定杆的一端，端塞固定杆的另一端连接锁定控制机
润滑油组合物
【摘要】本发明涉及一种润滑油组合物，由高温清净剂2.0-10.0％，无灰分散剂2.0-10.0％，抗氧剂0.2-2.0％，辅助抗氧剂0.5-3.0％，降凝剂0.1-0.8％，粘度指数改进剂5.0-10.0％，抗泡剂0.0015-0.00
医疗通气设备
【摘要】本发明提供一种医疗通气设备，包括：采样器件，所述采样器件具有与所述医疗通气设备中的呼气阀(11)连通的阀套接头(1)，其特征在于，所述阀套接头(1)的外周壁上设有沿径向方向伸出的操作部(2)，所述医疗通气设备的外侧板(10)上设有沿

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