【摘要】 本发明提供一种透明光掩模的制备方法，其包括以下步骤，首先，提供一透明基板，其 包括第一表面与第二表面。其次，将一参照板贴附于并完全覆盖该第一表面，该参照板上设 有定位基点。以参照板上的定位基点为基准于该第二表面上贴附一层图案化光掩模。该透明 光掩模的制备方法对位简单，节约成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】富葵精密组件(深圳)有限公司; 鸿胜科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518103广东省深圳市宝安区福永镇塘尾工业区工厂5栋1楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810304269.3 【申请日】2008-08-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101661218A 【公开公告日】2010-03-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101661218B 【授权公告日】2012-06-13 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G03F1/00; G03F1/14; G03F1/76 【发明人】陈黄伟; 李文钦 【主权项内容】提供一透明基板、其包括第一表面与第二表面； 将一参照板贴附于并完全覆盖所述第一表面，所述参照板上设有定位基点； 以参照板上的定位基点为基准于所述第二表面上贴附一层图案化光掩模。 【当前权利人】富葵精密组件(深圳)有限公司; 臻鼎科技股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区松岗街道燕川燕罗路臻鼎科技园厂房A1栋至A3栋; 中国台湾桃园县大园乡三石村三和路28巷6号 【专利权人类型】股份有限公司(港澳台与境内合资、未上市) 【统一社会信用代码】9144030070855050X9 【被引证次数】5 【被自引次数】1.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】5
