【摘要】 一种基板转移系统，用于将位于装载位置的基板转移至卸料位置，所述基板转移系统包 括：第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、第四驱 动装置、及一控制器，所述控制器控制所述第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、 第二驱动装置、第三驱动装置及第四驱动装置，使得所述第一吸附装置与第二吸附装置交替 吸附位于装载位置的基板并将吸附的基板交替转移至卸料位置放下。本发明还涉及一种基板 的转移方法。 【专利类型】发明申请 【申请人】富葵精密组件(深圳)有限公司; 鸿胜科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518103广东省深圳市宝安区福永镇塘尾工业区工厂5栋1楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810302767.4 【申请日】2008-07-17 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101631451A 【公开公告日】2010-01-20 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101631451B 【授权公告日】2011-06-08 【授权公告年份】2011.0 【发明人】沈家弘; 廖新治; 廖道明; 陈文村; 林承贤 【主权项内容】1.一种基板转移系统，用于将位于装载位置的基板转移至卸料位置 ，所述基板转移系统包括： 第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、第四 驱动装置、及一控制器，所述第一驱动装置与第三驱动装置分别用于驱动所述第一吸附装置 与第二吸附装置沿竖直方向远离或靠近所述基板运动从而所述第一吸附装置与第二吸附装置 可吸附位于装载位置的基板，所述第二驱动装置与第四驱动装置分别用于驱动所述第一吸附 装置与第二吸附装置沿水平方向在所述装载位置与所述卸料位置之间移动，所述控制器控制 所述第一吸附装置、第二吸附装置、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置及第四驱 动装置，使得所述第一吸附装置与第二吸附装置交替吸附位于装载位置的基板并将吸附的基 板交替转移至卸料位置放下。 【当前权利人】富葵精密组件(深圳)有限公司; 臻鼎科技股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区松岗街道燕川燕罗路臻鼎科技园厂房A1栋至A3栋; 中国台湾桃园县大园乡三石村三和路28巷6号 【专利权人类型】股份有限公司(港澳台与境内合资、未上市) 【统一社会信用代码】9144030070855050X9 【被引证次数】8 【家族被引证次数】8
