【摘要】 本发明涉及一种软性基板镀膜治具,其用于支撑一待镀膜的软性基板。该软性基板镀膜 治具包括至少一个转动体、一个用于活动架设该转动体的支架及一个电机。该待镀膜的软性 基板首尾相接并包覆该转动体。该电机包括一个转轴,该转轴固定在该至少一个转动体的一 端。该转轴带动该转动体转动,以通过该待镀膜的软性基板带动该至少一个转动体转动,从 而使待镀膜的软性基板进行移动镀膜,起到模仿磁控溅镀机台的效果,易于确定镀膜参数同 时提高了镀膜参数的精度。 【专利类型】发明申请 【申请人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810304671.1 【申请日】2008-09-25 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101684546A 【公开公告日】2010-03-31 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101684546B 【授权公告日】2012-05-23 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】C23C14/52; C23C14/35 【发明人】黄建豪 【主权项内容】1.一种软性基板镀膜治具,其用于支撑一待镀膜的软性基板,其特 征在于,该软性基板镀膜治具包括至少一个转动体、一个用于活动架设该转动体的支架及一 个电机,该待镀膜的软性基板首尾相接并包覆该转动体,该电机包括一个转轴,该转轴固定 在该至少一个转动体的一端,该转轴带动该转动体转动。 【当前权利人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号; 中国台湾新北市土城区中山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】914403007084307436 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】23.0 【家族被引证次数】2