【摘要】 本发明纳米粉末材料的射频辉光放电感应耦合等离子体制备技术，其包含以下步骤：首先进行大口径高密度射频等离子体的激发并维持，之后进行等离子体高温化学反应形成等离子体态初步反应物，然后采用二级扩散管梯度骤冷方式将等离子体态初步反应物冷凝成高纯度的纳米粉末材料，最后进行纳米粉末材料的收集，反应尾气进行中和处理。本发明实现了射频等离子体辉光放电纳米粉末材料的连续工业化制备，粉末材料粒径及分布易于控制，粒径主要在10～50nm区间内呈正态分布，以球形为主，表面无化学基团污染，纯度高达99.5％以上，生产环节对环境友好，产品应用领域广阔，技术价值和社会经济效益显著。 【专利类型】发明申请 【申请人】广东兴发铝业有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】528061 广东省佛山市禅城区南庄镇人和路23号 【申请人地区】中国 【申请人城市】佛山市 【申请人区县】禅城区 【申请号】CN200810177364.1 【申请日】2008-11-18 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101733405A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101733405B 【授权公告日】2012-01-11 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】B22F9/00; B22F9/14; B22F9/16; C01B13/14; B22F9/02 【发明人】吴锡坤; 梁奕清 【主权项内容】一种纳米粉末材料的射频辉光放电感应耦合等离子体制备技术，其特征在于，其包含以下步骤：首先进行大口径高密度射频等离子体的激发并维持，之后进行等离子体高温化学反应形成等离子体态初步反应物，然后采用二级扩散管梯度骤冷方式将等离子体态初步反应物冷凝成高纯度的纳米粉末材料，最后进行纳米粉末材料的收集，反应尾气进行中和处理。 【当前权利人】广东兴发铝业有限公司 【当前专利权人地址】广东省佛山市禅城区南庄镇人和路23号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】914406007894044079 【引证次数】5.0 【被引证次数】11 【他引次数】5.0 【被他引次数】11.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】11
