【摘要】 本发明涉及基于平面环形微腔的气体检测方法及气体传感器,主要特点是采用两个平面环形微腔与双锥光纤构成的耦合器,一个为检测气体耦合器,另一个为真空环境中耦合器;该气体检测方法是基于倏逝波对不同气体的吸收作用改变了透射光谱峰值的原理,利用待检测气体的检测气体耦合器所透射光谱与真空环境中耦合器所透射光谱进行对比,并由二者的光谱变化来实现检测待测气体的种类和浓度。由该方法设计的气体传感器具有响应时间短、结构相对简单,对于浓度极低的剧毒有害气体也有极高的灵敏性等优点。 : 【专利类型】发明授权 【申请人】中北大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】030051 山西省太原市学院路3号 【申请人地区】中国 【申请人城市】太原市 【申请人区县】尖草坪区 【申请号】CN200810079658.0 【申请日】2008-10-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101419161B 【公开公告日】2010-10-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101419161B 【授权公告日】2010-10-13 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N21/31 【发明人】熊继军; 严英占; 闫树斌; 杨玉华; 吉喆; 王少辉; 王宝花; 姜国庆; 任小红 【主权项内容】基于平面环形微腔的气体检测传感器,包括光纤(2)、激光发射器(4)、光学滤波器(5)、分束器(6)、吸收气室(7)、真空气室(8)、光电探测器(9)及信号处理器(10);其特征在于:●所述的光纤为双锥形光纤;所述的吸收气室与真空气室内各有一个由平面环形微腔与双锥形光纤构成的耦合器,耦合器的平面环形微腔位于所述的双锥形光纤的锥区;所述的吸收气室内的耦合器为检测气体耦合器,真空气室内的耦合器为真空环境中耦合器;●所述的吸收气室是由检测气体耦合器与防尘透气罩(3)组成;●所述的真空气室是由真空环境中耦合器和真空罩组成;●所述的激光发射器接光学滤波器,然后接分束器的输入端,分束器的输出端通过单模光纤(11),一路连接吸收气室的双锥形光纤输入端,另外一路连接对比信号用的真空气室的双锥形光纤输入端;吸收气室与真空气室的双锥形光纤输出端通过单模光纤分别连接两个光电探测器,由两个光电探测器将光信号转换为电信号并接到信号处理器。 【当前权利人】中北大学 【当前专利权人地址】山西省太原市学院路3号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12140000405747348X 【引证次数】3.0 【自引次数】2.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】14