【摘要】 本发明提供一种坩埚熔体中制备单晶体的装置，包括晶体生长炉及其升降系统、坩埚加速旋转系统，其特征在于：晶体生长炉中，凸陶瓷壳体、凹陶瓷壳体上下对接在一起置于金属炉壳的中央，保温塞安装在凸陶瓷壳体的上方，三者形成炉膛；环绕炉膛内壁由上而下依次布有带有热电偶的第四辅助电加热器、第三辅助电加热器、带状电加热器、第二辅助电加热器和第一辅助电加热器，所有电加热器外接温度控制器；由晶体生长炉升降系统控制实现坩埚的升或降，由坩埚加速旋转系统控制坩埚的各种旋转。。微信 【专利类型】发明授权 【申请人】山东理工大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】255086 山东省淄博市高新技术产业开发区高创园D座1012室 【申请人地区】中国 【申请人城市】淄博市 【申请人区县】张店区 【申请号】CN200810238303.1 【申请日】2008-12-07 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101440525B 【公开公告日】2010-08-25 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101440525B 【授权公告日】2010-08-25 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C30B35/00; C30B15/30; C30B15/10; C30B11/00 【发明人】刘俊成 【主权项内容】一种坩埚熔体中制备单晶体的装置，包括晶体生长炉及其升降系统、坩埚加速旋转系统，其特征在于：晶体生长炉中，凸陶瓷壳体(15)、凹陶瓷壳体(9)上下对接在一起置于金属炉壳(5)的中央，保温塞(17)安装在凸陶瓷壳体(15)的上方，三者形成炉膛；环绕炉膛内壁由上而下依次布有带有热电偶的第四辅助电加热器(14)、第三辅助电加热器(13)、带状电加热器(12)、第二辅助电加热器(10)和第一辅助电加热器(7)，所有电加热器外接温度控制器(39)；晶体生长炉升降系统：包括互相平行的多根导向柱(3)、丝杠(22)、中盘(4)、滑轮配重装置和驱动装置，金属炉壳(5)的下端面固定在中盘(4)的中央，其上端安装有起重架(18)，导向柱(3)与丝杠(22)平行，且每根导向柱(3)的两端带有螺纹并间隙穿过中盘(4)，其两端经螺栓分别与箱体(1)和顶盘(16)固定连接，与中盘(4)螺纹配合的丝杠(22)经由第一轴承(20)、第三轴承(26)分别与顶盘(16)和箱体(1)连接，配重(21)通过滑轮副(19)与起重架(18)连接，第一控制电机(28)固定在第一支座(29)上，通过第三带轮(30)、第四带轮(32)与减速器(31)连接，减速器(31)通过第一带轮(25)、第二带轮(27)与丝杠(22)连接；坩埚加速旋转系统：主轴(2)经由第二轴承(24)、第四轴承(34)垂直安装在箱体(1)的上、下端面上，经由第五带轮(35)、第六带轮(36)与第二控制电机(38)连接，第二控制电机(38)安装在第二支座(37)上，主轴(2)伸出箱体(1)的上端面与三爪卡盘(23)键连接，三爪卡盘(23)卡紧固定支撑杆(8)，坩埚(11)安放在支撑杆(8)上端的凹槽中央，第一控制电机(28)、第二控制电机(38)外接电机控制器(33)；环绕坩埚(11)的条带状电加热器(12)以一定的速率沿着坩埚(11)的轴向扫过坩埚(11)，坩埚(11)中的原料锭(40)顺次熔融、结晶，同时坩埚(11)不断加速、减速转动，坩埚(11)转速可按照梯形波、三角波或正弦波变化。 【当前权利人】山东理工大学 【当前专利权人地址】山东省淄博市高新技术产业开发区高创园D座1012室 【统一社会信用代码】1237000049557139X7 【家族被引证次数】12
