【摘要】 本发明公开了一种隧道结非接触式位移测量方法及位移传感器，在基片上安 装有隧道结阵列，所述的隧道结阵列外接有可以探测出每个隧道结电阻大小变化 的外围电路，每个隧道结对应一个确定的位置信息；隧道结阵列上方设置一个可 移动的激光光源，当激光光源发出的激光束照射到某一个隧道结上时，该隧道结 的外围电路感知其电阻变化，从而得到该隧道结的位置信息，从而得出与激光光 源位置相对应的待测对象的位移或长度。可以以较低的成本实现极高精度和稳定 性的位移探测，由于其原理采用数字式，所以整个传感器系统具有极高的抗干扰 性，并且由于没有采用通常磁珊型位移传感器所采用的磁珊尺，即使在强磁场下 也不会损坏，并且在一定大小的磁场下也可以工作，拓宽了其应用领域。 【专利类型】发明授权 【申请人】合肥智丰传感集成技术有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】230880安徽省合肥市高新开发区软件园四号楼216室 【申请人地区】中国 【申请人城市】合肥市 【申请号】CN200810020486.X 【申请日】2008-03-05 【申请年份】2008 【公开公告号】CN100590387C 【公开公告日】2010-02-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN100590387C 【授权公告日】2010-02-17 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01D5/16; G01D5/26; G11C11/15; G11C11/16 【发明人】戴芳馥 【主权项内容】1、一种隧道结非接触式位移测量方法，其特征在于在基片上安装有隧 道结阵列，所述的隧道结阵列外接有可以探测出每个隧道结电阻大 小变化的外围电路，每个隧道结对应一个确定的位置信息；隧道结 阵列上方设置一个可移动的激光光源，当激光光源发出的激光束照 射到某一个隧道结上时，该隧道结的外围电路感知其电阻变化，从 而得到该隧道结的位置信息，从而得出与激光光源位置相对应的待 测对象的位移或长度。 【当前权利人】安徽大学 【当前专利权人地址】安徽省合肥市肥西路3号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【引证次数】10.0 【他引次数】10.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】3
