【摘要】 本发明涉及一种航天飞行器太阳能电池帆板互连片用钼箔的电镀银工艺，包括的步骤是钼箔的打磨和脱脂处理、酸洗活化处理、银金属等离子注入、高温退火处理、浸银处理、电镀银、电镀层的成分EDS检测、形貌SEM观察、电镀钼箔的钝化处理、电镀钼箔的导电性和可焊性测试。本发明提出采用真空金属等离子注入技术，将金属元素按照一定能量和剂量注入到经过打磨、脱脂处理和酸洗活化处理的钼箔互连片材料中，经过真空高温退火后进行浸银处理。随后再进行无氰电镀银，从而在钼箔上获得结合紧密，晶粒细小圆滑和结构致密的镀银层。对电镀钼箔钝化处理后镀银层具有了抗硫化物腐蚀的能力。同时，电镀后钼箔的导电性和可焊性有了很大的提高，没有受到钝化处理的影响。 【专利类型】发明授权 【申请人】天津大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】300072 天津市南开区卫津路92号 【申请人地区】中国 【申请人城市】天津市 【申请人区县】南开区 【申请号】CN200810152812.2 【申请日】2008-11-05 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101393947B 【公开公告日】2010-12-08 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101393947B 【授权公告日】2010-12-08 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01L31/18; H01J37/317 【发明人】黄远; 万怡灶; 何芳; 王玉林; 吕海峰 【主权项内容】一种航天飞行器太阳能电池帆板互连片用钼箔的电镀银工艺，其特征在于主要包括钼箔的预处理、离子注入、高温退火处理、浸银处理、电镀银和钝化处理，具体步骤：1)将互连片纯钼箔试片打磨、脱脂处理，水洗，硫酸溶液酸洗并水洗完成预处理；2)在离子注入机上将银离子注入钼箔试片中，注入结束后，放在真空室中过夜，然后打开真空室取出试样；所述的离子注入过程工艺参数为：弧压升至60V，触发压升至80V，负压升至2KV，高压升至50KV，注入过程中不断调节触发频率，保持束流密度为2.0～2.5μA·cm‑2，注入期间真空度保持在1×10‑3Pa以下；所述的银离子的注入的剂量为1.7×1017ions/cm2，注入能量为105keV；3)在高真空炉中于真空度为1×10‑3Pa和700℃温度下保温2小时进行退火；4)在42‑48℃下，银离子注入后并经过高温退火的钼试片浸pH＝4的银溶液中，对表面再进行浸银；5)使用经过银离子注入、高温退火和浸银处理的钼箔试片为阴极，银箔为阳极，在银盐镀液中进行电镀银；6)得到镀银钼箔试片放置在钝化溶液中进行钝化时间4分钟后自然晾干。 【当前权利人】天津大学 【当前专利权人地址】天津市津南区海河教育园区雅观路135号天津大学北洋园校区 【统一社会信用代码】12100000401359321Q 【家族被引证次数】15
