【摘要】 一种大口径非球面镜检测系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪，小孔滤波器，双计算全息图，被测非球面镜，大、小型五维调整架；双计算全息图由主全息和对准全息两部分图形组成，双计算全息图固定在小型五维调整架上，并与菲索型干涉仪、小孔滤波器一起置于大型五维调整架上，观察对准全息的干涉图形可判断主全息的调整状态，在实现主全息精确对准的前提下，保持双计算全息图和菲索型干涉仪的相对位置不变，通过调整大型五维调整架调整主全息相对被测非球面镜的位置，小孔滤波器可将双计算全息图衍射的杂散光滤除，提高干涉条纹的对比度，从而实现对被测非球面镜的高精度检测，该检测系统为大口径非球面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院光电技术研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】610209 四川省双流350信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】双流区 【申请号】CN200810104089.0 【申请日】2008-04-15 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101261183B 【公开公告日】2010-09-15 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101261183B 【授权公告日】2010-09-15 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01M11/02; G01B11/00 【发明人】谢意; 陈强; 伍凡 【主权项内容】一种大口径非球面镜检测系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪(1)、小孔滤波器(2)、双计算全息图(3)、被测非球面镜(4)、小型五维调整架(5)以及大型五维调整架(6)；双计算全息图(3)由主全息图形和对准全息图形组成，所述对准全息图形位于所述主全息图形的外围，且和所述主全息图形同心，双计算全息图(3)固定在小型五维调整架(5)上，并与菲索型干涉仪(1)、小孔滤波器(2)一起置于大型五维调整架(6)上，被测非球面镜(4)由侧支撑固定，观察所述对准全息图形的干涉图形可判断所述主全息图形的调整状态，在实现所述主全息图形精确对准的前提下，保持双计算全息图(3)和菲索型干涉仪(1)的相对位置不变，通过调整大型五维调整架(6)调整所述主全息图形相对被测非球面镜(4)的位置，小孔滤波器(2)可将双计算全息图(3)衍射的杂散光滤除，提高干涉条纹的对比度，从而实现对被测非球面镜(4)的高精度检测。。 【当前权利人】中国科学院光电技术研究所 【当前专利权人地址】四川省双流350信箱 【统一社会信用代码】12100000450811820A 【家族被引证次数】34
