【摘要】 一种用于硒化处理的高活性硒源的产生方法及装置和应用。本发明方法包括：将固态 硒加热蒸发产生硒蒸汽；向上步产生的硒蒸汽中并入氢气，或氢气与氩气的混合气体；将 上步混合气体进行等离子体辉光分解与合成，得到硒化氢及高活性的硒气氛。硒源产生装 置包括一个密闭反应罐，反应罐内的固态硒源、阳极和阴极辉光电极、硒化氢反应腔，以 及反应罐外的加热装置和激励电源，同时在反应罐侧壁上设有气体输入端口，反应罐顶部 设有用气体输出端口。本发明既保留了固态硒低价无毒、容易运输和保存的优点，又可在 硒化过程中在线制备硒化氢及高活性硒气氛，使之具有硒化氢的高活性硒源的特性，还可 节省大量的硒原料，降低成本，具有重要的实用价值。 【专利类型】发明授权 【申请人】南开大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】300071天津市南开区卫津路94号 【申请人地区】中国 【申请人城市】天津市 【申请人区县】南开区 【申请号】CN200810053051.5 【申请日】2008-05-09 【申请年份】2008 【公开公告号】CN100581995C 【公开公告日】2010-01-20 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN100581995C 【授权公告日】2010-01-20 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C01B19/00; C01B19/04; C01B19/02; C23C14/35; H01L31/18 【发明人】孙云; 于涛; 李凤岩; 李宝璋; 李长健; 何青 【主权项内容】1、一种用于硒化处理的高活性硒源的产生方法，其特征在于该方法包括： 第一、将固态硒加热蒸发产生硒蒸汽； 第二、向上步产生的硒蒸汽中并入氢气，或氢气与氩气的混合气体； 第三、将上步混合气体进行等离子体辉光分解与合成，得到硒化氢及高活性的固态硒 硒气氛。。 【当前权利人】南开大学 【当前专利权人地址】天津市津南区海河教育园同砚路38号 【统一社会信用代码】121000004013593721 【引证次数】3.0 【被引证次数】1 【自引次数】1.0 【他引次数】2.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】20
