【摘要】 本发明提供了一种阵列分束方法，该方法将一束平行光经多光束产生器件变为多束平行光束，多束平行光束再经多光束能量均匀化组件处理变为一列能量均匀的平行光束。能量均匀的平行光束依次经过另一套多光束产生器件和多光束能量均匀化组件，每束平行光再变为一行平行光束，得到能量均匀的平行光束阵列。本发明采用几何光学的方法进行分光，采用平面结构的光学元件，加工工艺成熟，加工精度能够得到保证。采用本发明的方法能够实现不同数目、不同空间间隔的阵列分束器的制作。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国工程物理研究院流体物理研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】621900 四川省绵阳市919信箱109分箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】绵阳市 【申请号】CN200810147607.7 【申请日】2008-11-18 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101520549B 【公开公告日】2010-08-11 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101520549B 【授权公告日】2010-08-11 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G02B27/10; G02B1/10; G02B1/11 【发明人】熊学仕; 李泽仁 【主权项内容】一种阵列分束方法，其特征在于包括下列内容：一束平行光经多光束产生器件变为多束平行光束，多束平行光束再经多光束能量均匀化组件处理变为一列能量均匀的平行光束；能量均匀的平行光束依次经过另一套多光束产生器件和多光束能量均匀化组件，每束平行光再变为一列平行光束，得到能量均匀的平行光束阵列；所述的多光束产生器件为一片三面镀膜的平板玻璃，平板玻璃的入射面镀增透膜，上表面镀高反膜，下表面镀全反膜；所述的多光束能量均匀化组件由两面镀膜的平板玻璃和三片全反镜组成；平板玻璃的上表面镀增透膜，下表面镀一定反射系数的反射膜。 【当前权利人】中国工程物理研究院流体物理研究所 【当前专利权人地址】四川省绵阳市919信箱109分箱
