【摘要】 本发明公开了一种微束微区X射线探针分析仪，采用了X光管与聚焦毛细管的方式产生X射线对待检测样品微区进行特征X射线激发，所述分析仪主要包括：电子微动测量平台，用于对样品微区进行定位，获取样品微区的图像信息，XRF能谱仪实现样品的X射线检测，并将能谱曲线发送到PC机；PC上位机软件系统，通过相应的控制设备的控制实现谱线的分析，并获取分析后的结果。本发明实现了样品的无损检测，且检测时无须对样品进行表面导电处理，同时采用了激光定位系统实现了系统的自动定位，方便了用户的操作并节约了操作所需的时间。 该数据由<>整理 【专利类型】发明授权 【申请人】成都理工大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】610059 四川省成都市成华区二仙桥东三路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】成华区 【申请号】CN200810116613.6 【申请日】2008-07-14 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101308103B 【公开公告日】2010-10-27 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101308103B 【授权公告日】2010-10-27 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N23/225 【发明人】葛良全; 孙传敏; 杨健; 曾国强; 赖万昌; 程峰 【主权项内容】一种微束微区X射线探针分析仪，采用了X光管与聚焦毛细管的方式产生X射线对待检测样品微区进行特征X射线激发，其特征在于，所述分析仪主要包括：电子微动测量平台，XRF能谱仪，多轴步进电机驱动器及多轴运动控制器、PC上位机软件系统与电源系统，其中电子微动测量平台，用于对样品微区进行定位，并获取样品微区图像信息；电子微动测量平台包括：三个步进电动机驱动、微动台、CCD相机、X光管、X射线探测器及激光探测器，其中，三个步进电动机驱动，实现微动台的三维运动；CCD相机，设置有环形排列的白光LED光源，且由CCD相机步进电动机驱动控制所述CCD相机进行垂直方向自由度的运动；X光管，包括一聚焦毛细管与一激光发射器，且所述聚焦毛细管与激光发射器设置为一体，并通过X光管步进电动机驱动控制所述X光管倾斜角度上的运动；X射线探测器及激光探测器，其X射线探测器及激光探测器设置为一体，并通过X射线探测器及激光探测器步进电动机驱动控制所述X射线探测器及激光探测器进行倾斜角度上的运动；XRF能谱仪，接收电子微动测量平台表面样品的被X光管激发后的特征X射线，实现样品的X射线检测，并形成X能谱，然后将能谱曲线发送到PC机；多轴步进电机驱动器及多轴运动控制器实现对多个步进电机的精确运动控制及驱动；PC上位机软件系统，通过USB端口发送控制命令，控制多个步进电机的运动，控制图像信息的获取与处理，并对测量得到的谱线进行分析，将分析结果存储。 【当前权利人】成都理工大学 【当前专利权人地址】四川省成都市二仙桥东三路1号 【统一社会信用代码】12510000450722107H 【引证次数】7.0 【被引证次数】3 【他引次数】7.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】11
