【摘要】 本发明公开了多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法，对于作为原料的精馏系统产品液态氯硅烷和回收系统产品气态氢气，其特征在于：将液态氯硅烷通过蒸汽进行加热，加热后，液态氯硅烷变成气态氯硅烷，然后气态氯硅烷与氢气在静态混合器中混合，最后混合的氯硅烷和氢气进入氢还原炉进行下一步反应；本方法通过产品汽化器将液态氯硅烷加热变成气态，非常方便输送到静态汽化器中进行混合，而且在静态汽化器中混合比较安全；同时，通过通过调节阀、不同的流量计来控制氢气和氯硅烷的流量，所以非常容易控制氯硅烷、氢气的混合比例，还可以将氢气和氯硅烷的比例准确控制，控制直观、简单，主控人员容易驾驭。 【专利类型】发明授权 【申请人】四川永祥多晶硅有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】614800 四川省乐山市五通桥竹根镇新华村 【申请人地区】中国 【申请人城市】乐山市 【申请人区县】五通桥区 【申请号】CN200810147642.9 【申请日】2008-11-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101417802B 【公开公告日】2010-09-08 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101417802B 【授权公告日】2010-09-08 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C01B33/03; C30B29/06; C30B28/14 【发明人】戴自忠; 易忠海 【主权项内容】多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法，对于作为原料的精馏系统产品液态氯硅烷和回收系统产品气态氢气，其特征在于：将液态氯硅烷通过蒸汽进行加热，加热后，液态氯硅烷变成气态氯硅烷，通过调节阀和不同的流量计来分别控制氢气和氯硅烷流量，然后气态氯硅烷与氢气在静态混合器中混合，最后混合的氯硅烷和氢气进入氢还原炉进行下一步反应。 【当前权利人】四川永祥新能源有限公司 【当前专利权人地址】四川省乐山市五通桥区龙翔路999号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91511100660281872G 【家族被引证次数】7
