【摘要】 一种LED后段流程中的测试及分选方法,其特征在于包括以下步骤:第一步骤:测试一晶圆上产生的每一晶粒的属性数据与第一绝对坐标;第二步骤:根据所述属性数据与所述第一绝对坐标产生一晶圆地图档案;第三步骤:接收所述晶圆并读入所述晶圆地图档案;第四步骤:根据所述第一绝对坐标移动一捡取装置到一第一位置;第五步骤:提供一影像信息补偿所述第一位置的误差,使所述捡取装置移动到一第二位置,所述第二位置具有一第二绝对坐标;第六步骤:比对所述第二绝对坐标与所述第一绝对坐标,当两者之间的误差在一允许范围内时,根据所述第一绝对坐标对应的属性数据分选所述晶粒。 【专利类型】发明申请 【申请人】旺矽科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹县竹北市中和街155号1-3楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810177713.X 【申请日】2008-11-11 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101740431A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101740431B 【授权公告日】2013-08-28 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】H01L21/66; B07C5/34 【发明人】刘永钦; 蔡振扬; 陈秋旺; 何宜达 【主权项内容】一种LED后段流程中的测试及分选方法,其特征在于包括以下步骤:第一步骤:测试一晶圆上产生的每一晶粒的属性数据与第一绝对坐标;第二步骤:根据所述属性数据与所述第一绝对坐标产生一晶圆地图档案;第三步骤:接收所述晶圆并读入所述晶圆地图档案;第四步骤:根据所述第一绝对坐标移动一捡取装置到一第一位置;第五步骤:提供一影像信息补偿所述第一位置的误差,使所述捡取装置移动到一第二位置,所述第二位置具有一第二绝对坐标;第六步骤:比对所述第二绝对坐标与所述第一绝对坐标,当两者之间的误差在一允许范围内时,根据所述第一绝对坐标对应的属性数据分选所述晶粒。 【当前权利人】旺矽科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县竹北市中和街155号1-3楼 【引证次数】1.0 【被引证次数】8 【他引次数】1.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】8