【摘要】 本发明是关于一种高频表面声波组件及其基板，尤其是指一种无需以 价格昂贵的蓝宝石基板做为其基板的高频表面声波组件及其基板。高频表 面声波组件包括：一基板；一形成于基板的表面的第一缓冲层；一形成于 第一缓冲层的表面的第二缓冲层，一形成于第二缓冲层的表面的压电层； 一输入转换部；以及一输出转换部。其中，输入转换部与输出转换部成对 地设置于压电层的表面或其下方。基板为硅基板，第一缓冲层为氧化硅， 厚度介于0.05至0.2μm之间，第二缓冲层为氧化铝，厚度介于0.5至20μm 之间，压电层为氧化锌、氮化铝、铌酸锂或钽酸锂材质的压电薄膜。 【专利类型】发明申请 【申请人】大同大学; 大同股份有限公司 【申请人类型】学校,企业 【申请人地址】台湾省台北市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810146398.4 【申请日】2008-08-27 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101662268A 【公开公告日】2010-03-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101662268B 【授权公告日】2012-04-18 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H03H9/02 【发明人】施文钦; 王惠民 【主权项内容】1、一种高频表面声波组件，包括： 一基板； 一第一缓冲层，形成于该基板的表面； 一第二缓冲层，形成于该第一缓冲层的表面； 一压电层，形成于该第二缓冲层的表面； 一输入转换部；以及 一输出转换部； 其中，该输入转换部与该输出转换部是成对地设置于该压电层的表 面。。微信 【当前权利人】大同大学; 大同股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾台北市; 中国台湾台北市中山区中山北路三段22号 【家族引证次数】3.0
