【摘要】 本发明涉及一种微机电元件，包含：一质量块，其包括主质量部分和位于主质量部分两侧且与主质量部分连接的两电容板结构部份，其中该两电容板结构部份位于不同的高度；一上电极，位于该两电容板结构部份之一的上方，与其构成电容，以及一下电极，位于该两电容板结构部份的另一者的下方，与其构成另一电容，其中该上下电极在水平方向上错开。相应地，本发明还提供一种出平面传感器和微机电元件制作方法。 该数据由<>整理 【专利类型】发明申请 【申请人】原相科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810173852.5 【申请日】2008-10-29 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101726629A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101726629B 【授权公告日】2012-07-18 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G01P15/125; B81B7/02; B81C1/00; B81B7/00 【发明人】李昇达; 王传蔚 【主权项内容】一种微机电元件，其特征在于，包含：一质量块，其包括主质量部分和位于主质量部分两侧且与主质量部分连接的两电容板结构部份，其中该两电容板结构部份位于不同的高度；一上电极，位于该两电容板结构部份之一的上方，与其构成电容，以及一下电极，位于该两电容板结构部份的另一者的下方，与其构成另一电容，其中该上下电极在水平方向上错开。 ： 【当前权利人】原相科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹 【引证次数】5.0 【被引证次数】5 【他引次数】5.0 【被自引次数】2.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】15.0 【家族被引证次数】5
