【摘要】 本发明涉及一种可检测挠曲力量与电性的夹具，用于夹持一基板，该夹具包含：一基座；一夹持头，固定于该基座，该夹持头由一夹持片以及与该夹持片结合的一固定片所组成；以及，至少一力量感测单元，固定于该基座且接触该夹持头；其中，该夹持头上设有两个电极，且当该夹持头夹持住基板后，该电极会与基板相接触。 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人工业技术研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810181063.6 【申请日】2008-11-20 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101738345A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101738345B 【授权公告日】2012-10-10 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G01N3/20; G01J1/00; G01J3/00; G01B11/16; G01R31/00; G01N3/00 【发明人】温博浚; 叶欣达; 陈政宪; 柯心怡; 钟宗颖 【主权项内容】 一种可检测挠曲力量与电性的夹具，用于夹持一基板，该夹具包含：一基座；一夹持头，固定于该基座，该夹持头由一夹持片以及与该夹持片结合的一固定片所组成；以及至少一力量感测单元，固定于该基座且接触该夹持头；其中，该夹持头上设有两个电极，且当该夹持头夹持住基板后，该电极会与基板相接触。 【当前权利人】财团法人工业技术研究院 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【引证次数】6.0 【被引证次数】3 【他引次数】6.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】3
