【摘要】 一种扭转式微机电元件，其包含支持结构、平板主体，以及至少二扭转 轴连接该平板主体与该支持结构，该平板主体包含主动区域以及非主动区 域，且该非主动区域设有多个牺牲件，若该扭转式微机电元件的共振频率较 产品所需的标准共振频率低时，可移除部分的牺牲件以减少该扭转式微机电 元件的质量，并提升其共振频率。 ： 【专利类型】发明申请 【申请人】探微科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾桃园县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810128291.7 【申请日】2008-07-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101618848A 【公开公告日】2010-01-06 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101618848B 【授权公告日】2012-04-11 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】B81B7/02; B81C5/00; B81B7/00 【发明人】黄荣山; 何宪龙 【主权项内容】1.一种扭转式微机电元件，包括： 支持结构，其具有容纳空间； 平板主体，设于该容纳空间内，该平板主体包含主动区域以及非主动区 域，其中该非主动区域设有多个牺牲件；以及 至少二扭转轴连接该平板主体至该支持结构，所述扭转轴沿横贯该平板 主体质量中心的第一方向排列。 【当前权利人】探微科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾桃园县 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】2
