【摘要】 抗振型干涉扫描系统与其方法，包括：光源模组模块；光学模组模块，其是接收该光源模组模块所产生的光场以分别形成对应于一待测物的表面形貌的一高同调性干涉图案与一低同调性干涉图案；以及控制单元，其是锁定该高同调性干涉图案的亮暗分布，进而锁定该低同调性干涉图案的条纹分布；或该控制单元是先进行具有一特定行程的快速扫描动作，再根据该特定行程、形成该高同调性干涉图案的光场的光波波长与扫描动作开始前的该高同调性干涉图案的亮暗分布，锁定扫描动作完成后的该高同调性干涉图案的亮暗分布，进而锁定扫描动作完成后的该低同调性干涉图案的条纹分布。以使当受到外部振动或待测物内部产生振动时，该待测物的表面形貌得以被精确测得。 【专利类型】发明申请 【申请人】陈亮嘉 【申请人类型】个人 【申请人地址】中国台湾台北县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810167457.6 【申请日】2008-10-13 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101726260A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01B11/25; G01B11/24 【发明人】叶胜利; 陈亮嘉; 林世聪 【主权项内容】一种抗振型干涉扫描系统，其特征在于，包括：一光源模块；一光学模块，其是接收该光源模块所产生的光场以分别形成对应于一待测物的表面形貌的一高同调性干涉图案与一低同调性干涉图案；以及一控制单元，其是锁定该高同调性干涉图案的亮暗分布，进而锁定该低同调性干涉图案的条纹分布；或该控制单元是先进行具有一特定行程的快速扫描动作，再根据该特定行程、形成该高同调性干涉图案的光场的光波波长与扫描动作开始前的该高同调性干涉图案的亮暗分布，锁定扫描动作完成后的该高同调性干涉图案的亮暗分布，进而锁定扫描动作完成后的该低同调性干涉图案的条纹分布。 【当前权利人】陈亮嘉 【当前专利权人地址】中国台湾台北县 【引证次数】1.0 【被引证次数】6 【他引次数】1.0 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】6
