【摘要】 本发明提供一种形成透明金属氧化物薄膜的方法，是在玻璃或塑料基板上制作由SiO2(二氧化硅)等类涂料制成的抗反射(简称AR)薄膜上镀上一层金属(如铝…)薄膜，再经由400～650℃高温加热进行热处理，使以SiO2涂料的AR薄膜会与金属薄膜在界面接合处，产生化学变化，这将导致原本具有高反射率的金属薄膜和透明的SiO2薄膜反应后，重新形成一层透明金属氧化物薄膜(如Si-Al-O薄膜等)；因而形成的衬底基板可提供作处理上透明导电氧化物(简称TCO)薄膜，以使得TCO薄膜具有优良的导电性能。 【专利类型】发明申请 【申请人】粟溢科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾台北县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810173868.6 【申请日】2008-10-29 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101728008A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01B5/14; H01B13/00; C23C30/00 【发明人】张正杰 【主权项内容】一种形成透明金属氧化物薄膜的方法，其制备方法为：a)在基材的至少一面上设置AR薄膜；b)在AR薄膜上镀上一层金属薄膜；c)经由400～650℃高温加热进行热处理，使金属薄膜和AR薄膜反应后，新形成一层表面为金属氧化物的薄膜；上述制备方法可制成具有透明金属氧作物薄膜的构体。。 【当前权利人】粟溢科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾台北县 【被引证次数】6 【被他引次数】6.0 【家族被引证次数】6
