【摘要】 本发明公开一种判断聚焦的方法与自动聚焦装置及其侦测模块。此侦测模块包括椭圆曲面反射元件、光感测元件。椭圆曲面反射元件具有光束缺口、第一焦点及第二焦点。光束经由光聚焦元件聚焦后，透过光束缺口投射在待测物表面。椭圆曲面反射元件反射光束投射待测物表面后反射或散射的光线。光感测元件配置于第二焦点，用以接收椭圆曲面反射元件反射的光束，并产生侦测结果，以便调整光聚焦元件与待测物表面的距离，以便让光束聚焦的位置正确地落在待测物的表面。 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人工业技术研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810184184.6 【申请日】2008-12-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101750711A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101750711B 【授权公告日】2011-12-21 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G02B7/28; B23K26/067; B23K26/14; B23K26/142 【发明人】王雍行; 林昆蔚; 胡平浩; 钟佳诏; 刘裕升 【主权项内容】一种侦测模块，适于侦测经过一聚焦光束投射到一待测物表面的焦点位置，该侦测模块包括：椭圆曲面反射元件，具有一光束缺口，其中该聚焦光束通过该光束缺口投射到该待测物表面，产生反射光线与散射光线；以及光感测元件，用以感测由该椭圆曲面反射元件所反射的该反射光线与该散射光线，并据以产生一侦测结果，根据该侦测结果调整该聚焦光束的焦点位置，用于让该焦点位置落在该待测物的表面。 【当前权利人】财团法人工业技术研究院 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【引证次数】2.0 【被引证次数】9 【他引次数】2.0 【被他引次数】9.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】10
