【摘要】 本发明公开了一种磷化镓多晶合成方法，包括：合成炉室内充入氮气后加 热，并使炉内氮气压力维持在20～30巴；磷炉升温至480～520℃，后炉升温 至700～800℃，感应线圈中电流上升到40～150A且频率调制到10～20KHz， 感应区域升温；以6.5厘米/小时的速度在感应线圈内移动石英反应管，同时以 10～35℃/小时的升温速率对磷炉升温，实施磷化镓合成过程；磷化镓合成过 程结束后，感应线圈频率缓慢从最高值降低到零，合成炉室卸压。本发明磷化 镓多晶合成方法采用中高频加热方式合成磷化镓，极大减少了磷化镓多晶合成 过程中的炸管次数，提高了磷化镓多晶的出炉率和质量，不易产生电极打火现 象，也不会产生强电磁辐射，不会影响人体健康。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京有色金属研究总院; 国瑞电子材料有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100088北京市新街口外大街2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】西城区 【申请号】CN200810118931.6 【申请日】2008-08-26 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101660207A 【公开公告日】2010-03-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101660207B 【授权公告日】2012-03-07 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】C30B29/44; C30B29/10 【发明人】王文山; 王琦; 俞斌才; 林泉 【主权项内容】1、一种磷化镓多晶合成方法，其特征在于：它包括步骤： 步骤1：在合成炉室内充入氮气5～10巴后加热，并使合成炉室内氮气的 压力维持在20～30巴的范围内； 步骤2：将磷炉升温至480～520℃的范围内，将后炉升温至700～800℃的 范围内，将感应线圈中通入的电流上升到40～150A的范围内且频率调制到 10～20KHz的范围内，以使感应区域升温； 步骤3：确认磷炉、后炉的温度升到设定温度范围内并稳定，以及感应线 圈中的电流及其频率达到设定范围内并稳定后，以6.5厘米/小时的速度在感应 线圈内移动石英反应管，同时以10～35℃/小时的升温速率对磷炉进行升温， 以实施磷化镓的合成过程； 步骤4：经过4小时的磷化镓合成过程后，缓慢将感应线圈频率从最高值 降低到零，将合成炉室卸压。 该数据由<>整理 【当前权利人】有研国晶辉新材料有限公司 【当前专利权人地址】河北省廊坊市三河市燕郊兴都村南有研科技集团有限公司二部 【被引证次数】7 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】7
