【摘要】 本发明公开了一种检测方法及检测装置。检测装置包括一分割单元、 一决定单元、一转换单元以及一检测单元。检测方法包括以下步骤。首先， 将对应于圆盘的一坐标平面分割为面积相等的多个区域。其次，于此多个 区域中决定多个测量位置。接着，经由一坐标转换将此多个测量位置转换 为对应于圆盘的多个测量位置组。然后，依照此多个测量位置组检测圆盘。 【专利类型】发明申请 【申请人】旺宏电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省新竹科学工业园区力行路16号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810169190.4 【申请日】2008-11-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101630649A 【公开公告日】2010-01-20 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101630649B 【授权公告日】2012-09-05 【授权公告年份】2012.0 【发明人】涂凯文; 王仁宏; 周宗贤; 潘文森 【主权项内容】1、一种检测方法，用以检测一圆盘，其特征在于，该方法包括： 将对应于该圆盘的一坐标平面分割为面积相等的多个区域； 于该多个区域中决定多个测量位置； 经由一坐标转换将该多个测量位置转换为对应于该圆盘的多个测量 位置组；以及 依照该多个测量位置组检测该圆盘。 【当前权利人】旺宏电子股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 【被引证次数】4 【被自引次数】2.0 【家族被引证次数】5
