【摘要】 本发明提出一种光罩及其制作方法，该光罩包含一透光区以及一遮光区，其中该遮光区包含多个光子晶胞，每一个该光子晶胞具有一正六边形的受光面，且多个该光子晶胞的晶格常数与光源的波长的比值为一特定值，从而该光源无法通过由多个该光子晶胞所组成的遮光区。 【专利类型】发明申请 【申请人】南亚科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810188172.0 【申请日】2008-12-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101738845A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G03F1/00; G03F1/24; G03F1/54; G03F1/68; H01L21/027 【发明人】林佳蔚; 黄登烟 【主权项内容】一种光罩，包含：一透光区；以及一遮光区，其包含多个光子晶胞，且每一所述光子晶胞具有一受光面；其中所述受光面为一正六边形，且多个所述光子晶胞的晶格常数与光源的波长的比值为一特定值，从而所述光源无法通过所述遮光区。 【当前权利人】南亚科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】8
