【摘要】 本发明涉及一种相位差检测装置，包含：一光源模块，用于产生一单波长光束；一圆偏振光产生模块，由一偏振器以及一第一相位延迟器所组成；当该单波长光束射入圆偏振光产生模块后，会依次通过偏振器以及第一相位延迟器；以及一检测模块，由一第二相位延迟器、一偏振分光镜、一第一影像传感器以及一第二影像传感器所组成；当该圆偏振光通过待测样品然后射入检测模块后，会依次通过第二相位延迟器及偏振分光镜，该偏振分光镜会将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光与右旋圆偏振光并分别射入第一影像传感器与第二影像传感器。 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人工业技术研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810177684.7 【申请日】2008-11-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101738369A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101738369B 【授权公告日】2011-09-14 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01N19/00; G01N21/17; G01B11/24 【发明人】吴骏逸; 庄凯评; 林宛怡; 谢易辰; 杨富翔 【主权项内容】一种相位差检测装置，用于检测一透光的基板样品，依次包含：一光源模块，用于产生一单波长光束；一圆偏振光产生模块，由一偏振器以及一第一相位延迟器所组成；当该单波长光束射入该圆偏振光产生模块后，依次通过偏振器以及第一相位延迟器；以及一检测模块，由一第二相位延迟器、一偏振分光镜、一第一影像传感器以及一第二影像传感器所组成；当该圆偏振光通过基板样品然后射入检测模块后，依次通过第二相位延迟器及偏振分光镜，该偏振分光镜将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光与右旋圆偏振光并分别射入第一影像传感器与第二影像传感器。 【当前权利人】财团法人工业技术研究院 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【引证次数】2.0 【被引证次数】10 【他引次数】2.0 【被他引次数】10.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】10
